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ツールを起動して終了の仕方だけが気になるなら Process.Run を使います。1 回の呼び出しで済み、タイムアウトで子プロセスを強制終了し、シグナルを含む ProcessExitStatus を返します。stdin への書き込み、出力を届いたそばから読む処理、UseShellExecute、プロセスツリー全体の強制終了など、Process オブジェクトが必要な場合は Process.Start を使い続けます。

.NET 11 RC 1 で Signal、WaitForExitStatus、ProcessExitStatus が System.Diagnostics.Process に直接追加され、子プロセスのグレースフルな停止に kill の P/Invoke も SafeProcessHandle 経由の迂回も不要になりました。

.NET 11 Preview 4 では、stdout と stderr を並行して読み取る新しい System.Diagnostics.Process API、起動とキャプチャを 1 行で行うヘルパー、そして KillOnParentExit が登場します。